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题名/责任者:
MEMS系统级建模/(德)塔玛拉·贝克唐德(Tamara Bechtold),(德)加布里尔·施拉格(Gabriele Schrag),冯丽红著 周再发,李伟华,黄庆安译
出版发行项:
南京:东南大学出版社,2020-2-1
ISBN及定价:
978-7-5641-7263-3/CNY89.00
载体形态项:
11,12,442页;24cm
并列正题名:
System-level modeling of MEMS
丛编项:
微纳系统系列译丛
个人责任者:
贝克唐德
个人次要责任者:
周再发
学科主题:
微机电系统
中图法分类号:
TH-39
责任者附注:
塔玛拉·贝克唐德,2005年于德国弗莱堡大学获得微系统仿真专业的博士学位。2006-2010年,作为资深研究员在位于荷兰埃因霍温的飞利浦研究实验室和思智浦半导体公司从事研究工作。研究工作的目标是通过模型降阶和优化模拟改进标准集成电路设计流程。
提要文摘附注:
本书论述了MEMS系统级建模技术,内容共分五部分。第一部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境。
使用对象附注:
微机电系统专业、微电子技术专业、半导体技术专业、传感器技术专业、机械工程专业、仪器仪表专业、物联网技术专业等领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员
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